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國家電子級水(GB/T 11446.1-2013)

文章出處:網絡 人氣:發表時間:2021-06-24

中華人民共和國國家標準:電子級水(GB/T 11446.1-2013)

電子級水

1 范圍

GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。

本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。

2 規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法

GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法

GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法

GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法

3 術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

電子級水 electronic grade water

電子和半導體工藝過程中所用的高純水。

3.2

電阻率 resistivity

在規定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示,單位為歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。

3.3

全硅 total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。

3.4

可溶性硅 soluble silicon

以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。

3.5

微粒性物質 granular matter

除氣體外,以非液體分散在水中,并形成非均相混合物的物質。

3.6

總有機碳 total organic carbon;TOC

水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

3.7

吸附 absorption

某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。

3.8

凝聚 coagulation

在源水中加入某種電解質后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

3.9

絮凝 flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進行,可除去水中更細的微粒。

3.10

砂濾器 sand filter

用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。

3.11

活性碳過濾器 activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。

3.12

離子交換 ion exchange

一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質并無實質性結構變化。

3.13

離子交換樹脂 ion-exchange resin

一種合成的有機離子交換材料。

3.14

去離子水 deionized water

經過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質的高純水

3.15

再生 regeneration

離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。

3.16

復合床 complex bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯,使水依次通過兩個柱而被純化。

3.17

混合床 mixed bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多復合床串聯使用。

3.18

電滲析 electrodialysis

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時,在電流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

3.19

逆向滲透 reverse osmosis

用半透膜將濃水和淡水隔開,并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中,達到分離提純的目的。

3.20

反滲透膜 reverse osmosis membrane

用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm或更小,可用于除去無機離子、有機物、細菌等,使水純化。

3.21

微孔膜濾器 membrane filter

一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

3.22

超過濾 ultrafiltration

一種過濾方法,在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。

3.23

終端 terminal

高純水生產流程中經過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。

3.24

無菌 sterile

不含任何活有機體(不論是活躍的或休眠的)。

3.25

PH

水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。

4 分類和標記

4.1 分類

電子級水分為四個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。

4.2 標記

Ⅰ級電子級水標記為:EW-Ⅰ。

Ⅱ級電子級水標記為:EW-Ⅱ。

Ⅲ級電子級水標記為:EW-Ⅲ。

Ⅳ級電子級水標記為:EW-Ⅳ。

5 要求

電子級水的技術指標應符合表1規定。

表1 電子級水的技術指標

項目 技術指標
EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率(25℃)/MΩ·cm ≥18
(5%時間不低于17)
≥15
(5%時間不低于13)
≥12 ≥0.5
全硅/(μg/L) ≤2 ≤10 ≤50 ≤1000
微粒數/
(個/L)
0.05μm~0.1μm 500 - - -
0.1μm~0.2μm 300 - - -
0.2μm~0.3μm 50 - - -
0.3μm~0.5μm 20 - - -
>0.5μm 4 - - -
細菌個數/(個/mL) ≤0.01 ≤0.1 ≤10 ≤100
銅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤2 ≤500
鋅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤5 ≤500
鎳/(μg/L) ≤0.1 ≤1 ≤2 ≤500
鈉/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤1000
鉀/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤500
鐵/(μg/L) ≤0.1 - - -
鉛/(μg/L) ≤0.1 - - -
氟/(μg/L) ≤1 - - -
氯/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤10 ≤1000
亞硝酸根/(μg/L) ≤1 - - -
溴/(μg/L) ≤1 - - -
硝酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
磷酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500

 

6 試驗方法

6.1 電阻率

電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

6.2 全硅含量(以二氧化硅計)

電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

6.3 微粒數

電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

6.4 細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

6.5 痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。

6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

6.7 總有機碳含量

電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。

7 檢驗規則

7.1檢驗部門

電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。

7.2 檢驗分類

電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。

7.3交收檢驗

7.3.1 抽驗項目

電子級水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。

7.3.2 合格判據

在用水終端采樣,檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時,應再次采樣經行檢驗,如仍不合格,則該批不合格,應提出改進措施直到水質合格。

7.4 例行檢驗(全檢項目)

7.4.1 檢驗項目

檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序實驗結果的原則進行檢驗。

7.4.2 不合格判定

在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結果如有不合格項時,應再次采樣進行檢驗,如仍有不合格項時,應提出改進措施直到水質合格。

7.4.3 檢驗頻次

例行檢驗至少每年進行一次,當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。

8 采樣、貯存、運輸及標志

8.1采樣、貯存、運輸

電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。

8.2 標志

在用水終端采樣進行檢驗時,水質合格后應附有檢驗合格證,合格證應包含如下內容:

名稱及級別;

各項技術指標;

制水單位;

供水日期;

檢驗員簽章及檢驗日期。

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